Кремний асосидаги кўпқатламли металл-диэлектрик-яримўтказгич (МДЯ) структуралар ҳозирги вақтда кўплаб яримўтказгич асбоблар ва қуёш элементларининг асоси сифатида кенг қўлланилмоқда. Ушбу асбоблар сифатли, стабил ва ташқи таъсирларга чидамли ишлашида яримўтказгич-диэлектрик чегарасининг
характеристикаларини ўрганиш муҳим ўрин тутади. адқиқот Al – SiO2 – n-Si турдаги МДЯ-структураларнинг асосий параметрларинианиқлашдан иборат. Тадқиқотмақсадини амалга оширишда МДЯ структуралархарактеристикаларини ўлчаш,параметрлариниҳисоблаш ва ушбу структураларни ташқи омилларга чидамлилигини ўрганиш режалаштирилди.