В современном этапе развития технологии ВИМС выделяется своеобразными особенностями . Прежде всего нужно отметит, что наличия такого мощного прибора как микрозондового анализатора позволяет исследовать материалов, с различной стехиометрией. Использования современных достижений микроэлектроники – таких как микропроцессорная управления различными техническими процессами позволяет улучшить качество проводимых научных исследований, а также уменьшает время затрачиваемый для осуществления научного эксперимента. С этой точки зрения наша установка дает возможность проводит – экспериментальную работу на высшем уровне. Воспользовавшись этими возможностями мы будем усовершенствовать ВИМС установку . Будут проводится – профильный анализ по атомным слоям кристалла. Одновременно можно будет проводит – масс и энерго-анализ.